In ihrer heutigen Struktur besteht unsere Stiftung seit dem 1. Januar 2004. Die Stiftung Diakonie Görlitz ist im Jahr 2001 aus der Zusammenlegung der Evangelischen Stiftung Bethanien und der Evangelischen Stiftung Wichernhaus hervorgegangen. Das ehemalige Diakoniewerk Martinstift e.V. mit seinen Einrichtungen in Reichenbach und in Sohland a. R. gehört seit dem 1. Januar 2003 zur Stiftung Diakonie Görlitz und das ehemalige Diakoniewerk Salem seit dem 1. Januar 2004.
Am 15.11.2007 wurde die Stiftung Diakonie Servicegesellschaft mbH (SDS GmbH) gegründet. Als 100%ige Tochter erbringt sie alle Hauswirtschaftsleistungen für die Stiftung Diakonie Görlitz. Dies sind im Besonderen die Küchenbewirtschaftung, Reinigung, Service, Wäscherei und Hausmeistertätigkeiten.